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真空探針臺(tái)

折扣率： 0
最后更新：2024-07-08
關(guān) 注度：3246
生產(chǎn)企業(yè)：鄭州市金水區(qū)智研實(shí)驗(yàn)室設(shè)備經(jīng)營(yíng)部（個(gè)體工商戶）

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產(chǎn)品詳細(xì)介紹高溫真空探針臺(tái)KT-Z1604TZ

真空探針臺(tái)可實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境下的高溫及低溫電學(xué)性能測(cè)量，真空腔一體成型，具有設(shè)計(jì)合理，真空度穩(wěn)定，溫控精度及機(jī)械精度高等特點(diǎn)；根據(jù)測(cè)試溫度范圍不同，可單選高溫或低溫等相應(yīng)組件，溫度可達(dá)到400℃，低溫部分采用液氮或液氦冷卻組件，溫度可低至-196℃，；真空系統(tǒng)可選機(jī)械泵或分子泵系統(tǒng)，真空度可達(dá)到10-3Torr或10-6Tor。

 

高低溫真空探針臺(tái)應(yīng)用：

可應(yīng)用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測(cè)樣品的電學(xué)性能測(cè)試分析，如：半導(dǎo)體/微電子，電子，機(jī)電，物理，化學(xué)，材料，光電，納米，微機(jī)電/MEMS，生物芯片，航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域，以及IC設(shè)計(jì)/制造/測(cè)試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。

高溫真空探針臺(tái)技術(shù)參數(shù)
高溫真空探針臺(tái)KT-Z1604TZ參數(shù)

 

真空腔體

腔體材質(zhì)

304不銹鋼

上蓋開啟

鉸鏈側(cè)開

加熱臺(tái)材質(zhì)

304不銹鋼

內(nèi)腔體尺寸

φ160x90mm

觀察窗尺寸

Φ70mm

加熱臺(tái)尺寸

φ60mm

觀察窗熱臺(tái)間距

75mm

加熱臺(tái)溫度

﹣196~350℃

加熱臺(tái)溫控誤差

±1℃

真空度

機(jī)械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

允許正壓

≤0.1MPa

真空抽氣口

KF25真空法蘭

氣體進(jìn)氣口

3mm-6mm卡套接頭

電信號(hào)接頭

SMA轉(zhuǎn)BNC X 4

電學(xué)性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質(zhì)耐壓 ≤500V

探針數(shù)量

4探針

探針材質(zhì)

鎢針  

探針尖

10μm

探針移動(dòng)平臺(tái)

X軸移動(dòng)行程

30mm    ±15mm

X軸控制精度

≤0.01mm

Y軸移動(dòng)行程

13mm    ±12.5mm

Y軸控制精度

≤0.01mm

Z軸移動(dòng)行程

13mm    ±12.5mm

Z軸控制精度

≤0.01mm

電子顯微鏡

顯微鏡類別

物鏡

物鏡倍數(shù)

0.7-4.5倍

工作間距

90mm

相機(jī)

sony 高清

像素

1920※1080像素

圖像接口

VGA

LED可調(diào)光源

有

顯示屏

8寸

放大倍數(shù)

19-135倍,視場(chǎng)范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm

 

高溫真空探針臺(tái)使用說(shuō)明
 
高溫真空探針臺(tái)采購(gòu)須知
 

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